GB/T 28277-2012 硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法

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文件大小： 704.64 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 剪切   检测   制造   压强   技术
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅基MEMS制造技术 微键合区剪切和拉压强度检测方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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