GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法

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标准类别：国家标准

关键词：化学分析耦合体质测定外延

标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅外延用三氯氢硅化学分析方法硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定电感耦合等离子体质谱法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。