GB/T 29844-2013 用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范

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文件大小： 396.48 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 集成电路   图形   评估   工艺   用于
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标准简介

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适用范围：本文件规定了用于先进集成电路光刻工艺综合评估的图形规范的技术标准与服务规范，适用于服务管理的行业管理与质量评价。

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