GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

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文件大小： 398.81 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 抛光   密度   微管   碳化硅   方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法的评定标准与报告要求，适用于无损检测的质量监督。

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