GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

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文件大小： 449.68 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 摇摆   射线   曲线   测试   双晶
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标准简介

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适用范围：本文件明确了氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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