GB/T 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料

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文件大小： 296.82 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 坩埚   熔融   石英   铸锭   多晶
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标准简介

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适用范围：本文件提供了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的标准化实施规范，为国家标准的技术发展提供标准化的操作准则。

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