GB/T 34971-2017 半导体制造用气体处理指南

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.5 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 半导体   指南   气体   制造   处理
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标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体制造用气体处理指南的技术标准与服务规范，适用于服务管理的行业管理与质量评价。

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