GB/T 36053-2018 X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告

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语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 宽度   界面   薄膜   厚度   射线

标准简介

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适用范围:本标准针对X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告提出了仪器设备与操作步骤的技术要求,确保检测技术检测结果准确可靠。

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