GB/T 26068-2018 硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法

文件格式： PDF文档
文件大小： 3.28 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   衰减   微波   复合   寿命
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标准简介

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适用范围：本标准针对硅片和硅锭载流子复合寿命的测试非接触微波反射光电导衰减法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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