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GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

资料大小： 5.31 MB
文档格式： PDF文档
资料语言： 简体中文
资料类别： 国家标准
更新日期： 2020-03-08
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推荐信息： 集成电路   模型   工艺   装备   设计

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简介
GB∕T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
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  • 本文档关键词: 集成电路   模型   工艺   装备   设计
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