GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

文件格式： PDF文档
文件大小： 5.31 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 集成电路   模型   工艺   装备   设计
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标准简介

说明：本站提供 GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型 的PDF全文下载。

适用范围：本标准确立了含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型的技术原则，适用于国家标准的技术验收与质量评定。

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