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GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范

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资料语言： 简体中文
资料类别： 国家标准
更新日期： 2019-10-16
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推荐信息： 硅片   基于   工艺   规范   制造

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简介
GB∕T 32814-2016 硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
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  • 本文档关键词: 硅片   基于   工艺   规范   制造
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