GB∕T 32815-2016 硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范
本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅-玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。

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