GB∕T 32816-2016 硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。

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本文档关键词: 集成   工艺   核心   规范   制造