GB/T 47926-2026 半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

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文件大小： 11.42 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 磁悬浮   轴承   半导体   洁净   技术规范
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GB/T 47926-2026 半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范

标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体用磁悬浮自轴承洁净泵技术规范的技术标准与服务规范，适用于服务管理的行业管理与质量评价。

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