GB/T 47927-2026 半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘

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文件大小： 11.98 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 修整   金刚石   半导体   芯片   化学
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GB/T 47927-2026 半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘

标准简介

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适用范围：本标准对半导体芯片化学机械抛光垫修整用金刚石盘的技术活动作出了具体规定，为国家标准的标准化建设提供重要参考。

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