GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   电阻率   径向   测量方法   变化
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标准简介

GB/T 11073-1989 硅片径向电阻率变化的测量方法 本标准规定了用直排四探针方法测量硅单晶片径向电阻率变化的方法。本标准适用于硅片厚度小于探针平均间距。
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