GB/T 40577-2021 集成电路制造设备术语

文件格式： PDF文档
文件大小： 3.38 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 术语   集成电路   制造   设备   GB
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标准简介

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适用范围：本文件规定了集成电路制造设备术语的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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