GB 11481-1989 掩模对准曝光机通用技术条件

文件格式： PDF文档
文件大小： 577.27 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 对准   曝光   通用   技术   条件
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标准简介

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适用范围：本文件规定了掩模对准曝光机通用技术条件应遵循的技术规范，为国家标准的技术能力建设提供规范依据。

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