GB/T 23611-2009 金靶材

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词： GB 23611 2009 金靶材

标准简介

GB/T 23611-2009 金靶材本标准规定了金靶材要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及订货单（或合同）内容。本标准适用于制造半导体电子器件用的各类金溅射靶材。