GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法

文件格式： PDF文档

文件大小： 5.85 MB

语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片荧光光谱测试金属

标准简介

GB/T 24578-2009 硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法本标准规定了硅片表面金属沾污的全反射X光荧光光谱测试方法,本方法使用单色X光源全反射X光荧光光谱的方法定量测定硅单晶抛光衬底表面层的元素面密度。本标准适用于N型和P型硅单晶抛光片、外延片等镜面抛光的硅片,尤其适用于清洗后硅片自然氧化层,或经化学方法生长的氧化层中玷污元素的面密度测定。