GB/T 35310-2017 200mm硅外延片

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 外延   GB   35310   2017   200
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标准简介

GB/T 35310-2017 200mm硅外延片 本标准规定了直径200 mm硅外延片的术语和定义、产品分类、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书。本标准适用于在N型和P型硅抛光衬底片上外延生长的硅外延片。产品主要用于制作集成电路或半导体器件。
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