GB/T 20175-2006 表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：剖析参考深度优化物质

标准简介

GB/T 20175-2006 表面化学分析溅射深度剖析用层状膜系为参考物质的优化方法为使俄歇电子能谱、X射线光电子能谱和二次离子质谱的仪器设定达到深度分辨的优化目的,本标准采用适当的单层和多层膜系参考物质,提供优化溅射深度剖析参数的指南。特殊多层膜系的使用不包括在本标准内。