GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷

文件格式： PDF文档
文件大小： 4.65 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅烷   电子   GB   42720   2023
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标准简介

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适用范围：本文件规定了电子特气 六氯乙硅烷应遵循的技术规范，适用于国家标准的技术维护与安全保障。

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