GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.73 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 外延   GB   30652   2023   用三氯氢硅
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标准简介

说明：本站提供 GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅 的PDF全文下载。

适用范围：本标准规定了硅外延用三氯氢硅的技术框架与实施路径，适用于国家标准的技术策划与组织管理。

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