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GB/T 10067.417-2023 正式版电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分：碳化硅单晶生长装置

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GB∕T 10067.417-2023 正式版电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分：碳化硅单晶生长装置

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