GB/T 30652-2023 正式版 硅外延用三氯氢硅

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文件大小： 1.23 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 外延   正式版   GB   30652   2023
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标准简介

说明：本站提供 GB/T 30652-2023 正式版 硅外延用三氯氢硅 的PDF全文下载。

适用范围：本标准规定了正式版 硅外延用三氯氢硅的技术条件和检验规则，为国家标准的质量控制与检测评定提供依据。

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