GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 缺陷   检验   方法   GB   18032
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标准简介

GB/T 18032-2000 砷化镓单晶AB微缺陷检验方法 本标准规定了砷化镓单晶AB微缺陷的检验方法。本标准适用于砷化镓单晶AB微缺陷密度(AB-EPD)的检验。检验面为(100)面。测量范围小于5×10^5cm^-^2。
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