GB/T 18682-2002 物理气相沉积Tin薄膜技术条件_国家标准

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发布日期： 2002-03-10

实施日期： 2002-08-01

标准状态： 现行有效

简介

GB∕T 18682-2002 物理气相沉积Tin薄膜技术条件
本标准规定了物理气相沉积TiN薄膜的技术要求。本标准适用于物理气相沉积TiN薄膜,也适用于其他方法制备的TiN薄膜。本标准也适用于其他材料沉积层(TiC,TiCN,TiAIN等)。

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