GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 高纯   气体   电子工业   GB   18994
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标准简介

GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。分子式:Cl(2)。相对分子质量:70.906(按1999年国际相对原子质量)。101.3kPa下的沸点:-34.05℃。101.3kPa下的溶点:-101.0℃。101.3kPa及20℃下气体的密度:2.980kg/立方米。
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