GB/T 3163-1993 真空技术术语

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：术语真空技术 GB 3163 1993

标准简介

GB/T 3163-1993 真空技术术语本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵术语、真空计术语、真空系统术语、真空检漏术语、真空镀膜技术术语、真空干燥术语、表面分析术语和真空冶金术语。本标准适用于真空技术方面的技术文件、标准、书籍和手册等有关资料的编写。