GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨

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文件大小： 181.85 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 高纯   气体   电子工业   GB   14601
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标准简介

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适用范围：本文件提出了电子工业用气体 高纯氨的具体技术措施，适用于国家标准的技术决策与风险评估。

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