GB/T 16527-1996 硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硬面   感光   规范   电子束   GB
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标准简介

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适用范围：本文件明确了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范的相关技术规定与实施要求，适用于服务管理的标准化管理。

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