GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

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文件大小： 349.51 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 尺寸   定义   缺陷   准则   分类
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标准简介

说明：本站提供 GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 的PDF全文下载。

适用范围：本标准明确了光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则的技术管理要求，为国家标准的工程项目提供技术依据。

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