GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

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文件大小： 290.92 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 抛光   反射   测试   表面   质量
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标准简介

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适用范围：本标准针对硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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