GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

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文件大小： 224.11 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   平整   测试   局部   接触
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅片局部平整度非接触式标准测试方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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