GB/T 14144-2009 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法

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文件大小: 1.22 MB
语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 间隙   晶体   含量   径向   测量方法

标准简介

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适用范围:本文件规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法的检测方法标准与试验规范,适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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