GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)

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文件大小： 536.19 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 气体   硅烷   电子工业   GB   15909
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标准简介

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适用范围：本标准规定了电子工业用气体 硅烷(SiH4)的技术管理规范，为国家标准的技术创新与规范化发展提供支撑。

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