GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

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文件大小： 381.4 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 离子   测量   性能参数   真空技术   GB
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标准简介

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适用范围：本标准针对真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量提出了系统的技术规范，适用于国家标准的日常管理与技术监督。

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