GB/T 31469-2015 半导体材料切削液

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 切削   半导体材料   GB   31469   2015
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标准简介

GB/T 31469-2015 半导体材料切削液 本标准规定了半导体材料切削液的各项技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存及运输等要求。本标准适用于半导体材料线切割加工采用的切削液。
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