GB/T 26068-2010 硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   衰减   微波   复合   寿命
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅片载流子复合寿命的无接触微波反射光电导衰减测试方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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