GB/T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法

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文件大小： 590.14 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 校准   显微镜   纳米   原子   测量
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标准简介

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适用范围：本文件提供了利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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