JIS B9960-33-2012 機械類の安全性－機械の電気装置－第３３部：半導体製造装置に対す

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语言版本：日文版

标准类别：国外标准

关键词：装置安全性 JIS B9960 33

标准简介

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适用范围：本标准针对JIS B9960-33-2012 機械類の安全性－機械の電気装置－第３３部：半導体製造装置に対す提出了系统的技术规范，为国外标准的技术管理工作提供统一依据。