ASTM F1593-97(2002) 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法

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标准类别：国外标准

关键词：辉光放电微量分辩杂质

标准简介

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适用范围：本文件明确了ASTM F1593-97(2002) 应用高质量分辩率辉光放电质谱计测定电子级铝中微量金属杂质的标准试验方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。