ASTM F1894-98(2003) 测定硅化钨半导体工艺薄膜成份和厚度的试验方法

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语言版本：英文版

标准类别：国外标准

关键词：薄膜厚度半导体测定工艺

标准简介

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适用范围：本标准对ASTM F1894-98(2003) 测定硅化钨半导体工艺薄膜成份和厚度的试验方法的仲裁检验与能力验证作出了规定，为检测技术的质量保证提供依据。