BS EN ISO 14644-6-2007 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6 Vocabulary

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语言版本：英文版

标准类别：国外标准

关键词： BS EN ISO 14644 2007

标准简介

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适用范围：本文件规定了BS EN ISO 14644-6-2007 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6 Vocabulary应遵循的技术规范，适用于国外标准的行业监督与质量评价。