BS ISO 22309-2006 微电子束分析.用能量散射光谱仪(EDS)进行定量分析

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语言版本： 英文版
标准类别： 国外标准
关键词： 微电子   散射   能量   光谱仪   定量分析
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标准简介

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适用范围：本文件明确了BS ISO 22309-2006 微电子束分析.用能量散射光谱仪(EDS)进行定量分析的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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