ASTM E1162-87(2001) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据

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语言版本: 英文版
标准类别: 国外标准
关键词: 截面   离子   深度   数据   二次

标准简介

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适用范围:本文件涵盖了ASTM E1162-87(2001) 二次离子质谱法(SIMS)中报告溅射深度截面数据的主要技术管理内容,适用于国外标准的产品开发与技术应用。

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