ASTM E1438-91(2001) 用次级离子质谱法（SIMS）测量溅射深度成形界面的宽度

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语言版本：英文版

标准类别：国外标准

关键词：成形宽度界面离子深度

标准简介

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适用范围：本文件涵盖了ASTM E1438-91(2001) 用次级离子质谱法（SIMS）测量溅射深度成形界面的宽度的主要技术管理内容，适用于国外标准的生产运营与质量监督。