JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备

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语言版本：简体中文

标准类别：机械

关键词：真空设备镀膜 JB 8945

标准简介

JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。