JB∕T 12067-2014 TDL-GX硅芯生长炉
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。
本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。

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